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Reinräume der Göttinger Fakultät für Physik

Campus-Ansichten Reinräume der Göttinger Fakultät für Physik

Die Tageblatt-Serie „Campus-Ansichten“ bietet Einblicke und Ausblicke, die die Universität und Forschungsinstitute in Göttingen von Seiten zeigen, die nur wenigen Menschen bekannt sind. Um die beiden Reinräume der Neuen Physik geht es in Folge 20.

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Jörg Malindretos in einem der Reinräume der Fakultät für Physik.

Quelle: Hinzmann

Göttingen. Kopfhaube, Mundschutz, Overall, Handschuhe und Überschuhe: Wer in die Reinräume der Fakultät für Physik am Friedrich-Hund-Platz 1 will, muss sich warm anziehen. „Die meisten gewöhnen sich schnell an die zusätzliche Bekleidung“, berichtet Jörg Malindretos (43) vom IV. Physikalischen Institut.

Der promovierte Wissenschaftler betreut zusammen mit dem erfahrenen Techniker Joachim Herbst (59) die 35 Forscher, die jeweils im gleichen Zeitraum den Bereich nutzen. „Die Schutzkleidung soll den Eintrag von Staub verringern“, erläutert Malindretos das Prinzip. Eine Metallbank teilt den Umkleideraum in zwei Hälften. Wer hinübersteigen will, muss sich Staubfänger über die Schuhe ziehen. Auf der anderen Seite ist dann der Rest der Überbekleidung an der Reihe.

Aber kommen die Wissenschaftler, die meist mehrere Stunden am Stück im Reinraum tätig sind, da nicht fürchterlich ins Schwitzen? „Die Räume sind auf 21,5 Grad Celsius klimatisiert, damit die Lithografie-Prozesse optimal funktionieren“, erläutert der Physiker. Vor allem im Sommer sei der Ort als Arbeitsplatz beliebt. Und die Luftfeuchtigkeit liege immer bei angenehmen 50 Prozent.

Voll bekleidet geht es durch eine Schleuse hinein in den ersten der beiden Räume, die zusammen 50 Quadratmeter groß sind. Die Lampen an der Decke leuchten gelb. „Wir arbeiten hier mit fotoempfindlichen Lacken, die vor unerwünschter Belichtung zu schützen sind“, erklärt Malindretos. Die Lacke werden auf Oberflächen aufgetragen, um nach der Belichtung durch gezieltes Ätzen oder Deponieren von dünnen Schichten funktionale Strukturen im Mikro- und Nanobereich zu erzeugen. Solche Verfahren kommen etwa in der Halbleiterproduktion zur Anwendung. Gegen Lösungsmittelspritzer schützen sich die Wissenschaftler, wie das in Laboren üblich ist, mit speziellen Brillen.

Der zweite Raum ist durch eine weitere Schleuse zu erreichen. Eine Luftdusche bläst, angenehm erfrischend, Staub fort. Dort gibt es sogenannte Nassbänke, Laborarbeitsplätze mit Wasseranschluss, sowie einen optischen Belichter. Auf der Ablage stehen Fläschchen mit den Fotolacken.

Zur Ausstattung der Reinräume gehört zudem eine Aufdampfanlage. Zur schnellen thermischen Bearbeitung von Siliziumplatten, ein Arbeitsschritt in der Halbleiterfertigung, gibt es eine Anlage mit zwei Ofenkammern, die sich blitzschnell auf 1250 Grad Celsius aufheizen lassen. Solche Prozesse laufen computergesteuert ab.

Malindretos war 2008 maßgeblich am Aufbau des Bereichs beteiligt, als das Fakultätsgebäude auf dem Nordcampus erbaut wurde. Allein die Geräteausstattung kostete 1,2 Millionen Euro. Für die Versorgung mit Prozessgasen mussten seinerzeit hochreine Edelstahlleitungen verlegt werden. Hohe Sicherheitsauflagen waren zu erfüllen, da die Wissenschaftler teilweise mit aggressiven Verbindungen wie Ammoniak und Chlor arbeiten. Die verantwortlichen Hochschullehrer sind Malindretos Teamleiterin, Prof. Angela Rizzi, sowie Prof. Tim Salditt vom Institut für Röntgenphysik.

Von Michael Caspar

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